Wetenschap, Technologie & Innovatie
De onmogelijke machine die ASML tot wereldleider maakte
In deze aflevering neemt Maxim van Mil je mee in de bijna twintig jaar durende zoektocht van ASML naar de 'onmogelijke machine'. Ondanks miljardeninvesteringen en talloze tegenslagen slaagt het bedrijf er uiteindelijk in om EUV-technologie werkend te krijgen, met een doorbraak die voortkomt uit een toevallig lek. Het is een verhaal over volharding, samenwerking met klanten en het overwinnen van natuurkundige grenzen.
5. De onmogelijke machine
Opvallend
- ASML besteedde bijna 20 jaar en miljarden euro’s aan EUV-technologie, waarbij er ooit een periode was dat uit zeven machines geen enkel foton kwam.
- In de EUV-machine worden tin-druppels van 25 micrometer tweemaal geraakt door lasers, 50.000 keer per seconde, om plasma heter dan de zon te maken.
- In 2012 investeerden Intel, TSMC en Samsung miljarden in ASML voor 25% aandelen, waardoor het EUV-project ondanks enorme problemen kon worden voltooid.
- Een lek in een vroege EUV-machine bleek een doorbraak: het gas dat binnenkwam hield de spiegels schoon, waardoor de machine niet meer om de paar uur stil hoefde.
- ASML's fellowsysteem, geïnspireerd door Bell Labs, geeft topingenieurs vrijheid en erkenning, met hun portretten aan een muur in het hoofdkantoor.